對真空煅燒爐進行維修后,要進行烘爐、須對真空煅燒爐進行真空檢漏。真空煅燒爐烘爐前,可用1000V搖表檢測真空爐的絕緣,正常不小于2MQ。真空爐烘爐分三個階段:①水分排出期0~ 200°C ,真空煅燒爐保溫層中的水分和真空爐體中潮氣的排出期,須檢查真空爐真空度,同
時保溫時間較長。②真空爐體放氣量大的溫度區-般在500°C左右 ,因真空煅燒爐放氣量比較大,這時升溫不超過50°C/h。保溫時間一般在60分鐘以上③保溫期1200°C左右,加熱每升高100~ 200°C ,要進行保溫一段時間,升溫過快易損壞保溫層、真空爐放氣不完全。
在真空系統檢漏時,除臨時應急維修用真空泥糊堵外,有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏,如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或Z醚射到所懷疑的漏點處,觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板,分段封堵真空管路,進行檢漏。找到漏點以后進行維修( -般密封圈老化比較多) , 定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油,如發現油遇水乳化,真空下跌,須更換上面4個泵油,應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。
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